超聲空化閾值和超聲波的頻率有密切關(guān)系。頻率越高.空化閾越高.換句話說.頻率越高,在液體中要產(chǎn)生空化所需要的聲強(qiáng)或聲功率也越大;頻率低,空化容易產(chǎn)生,同時在低頻情況下,液體受到的壓縮和稀疏作用有更長的時間間隔.使氣泡在崩潰前能生長到較大的尺寸.增高空化強(qiáng)度.有利于清洗作用。目前超聲波清洗機(jī)的工作頻率根據(jù)清洗對象.大致分為三個頻段:低頻超聲清洗(20-50KHz ) .高頻超聲清洗(50-200KHz)和兆赫超聲清洗(700KHz-1MHz以上)。低頻超聲清洗適用于大部件表面或者污物和清洗件表面結(jié)合強(qiáng)度高的場合。頻率的低端.空化強(qiáng)度高,易腐蝕清洗件表面.不適宜清洗表面光潔度高的部件.而且空化噪聲大。40KHz左右的頻率.在相同聲強(qiáng)下,產(chǎn)生的空化泡數(shù)量比頻率為2OKHz時多.穿透力較強(qiáng).宜清洗表面形狀復(fù)雜或有盲孔的工件.空化噪聲較?。栈瘡?qiáng)度較低.適合清洗污物與被清洗件表面結(jié)合力較弱的場合。高頻超聲清洗適用于計(jì)算機(jī).微電子元件的精細(xì)清洗.如磁盤.驅(qū)動器.讀寫頭、液晶玻璃及平面顯示器.微組件和拋光金屬件等的清洗。這些清洗對象要求在清洗過程中不能受到空化腐蝕.要能洗掉微米級的污物。兆赫超聲清洗適用于集成電路芯片.硅片及簿膜等的清洗.能去除微米.亞微米級的污物而對清洗件沒有任何損傷.因?yàn)榇藭r不產(chǎn)生空化,其清洗機(jī)理主要是聲壓梯度、粒子速度和聲流的作用。特點(diǎn)是清洗方向性強(qiáng),被清洗件一般置于與聲束平行的方向.